基礎(chǔ)知識：激光驅(qū)動(dòng)白光光源
在光譜分析領(lǐng)域，光源性能往往是決定檢測精度與應(yīng)用范圍的關(guān)鍵因素。傳統(tǒng)光源如鹵素?zé)簟㈦療舻仍诹炼取⒐庾V范圍和壽命上的局限性，長期以來制約著高&端光譜應(yīng)用的發(fā)展。
激光驅(qū)動(dòng)白光光源（LDLS，奧譜天成ATG7500系列），以前沿的激光泵浦技術(shù)與等離子體發(fā)光機(jī)制，徹&底&顛&覆了傳統(tǒng)光源的性能邊界，為半導(dǎo)體檢測、生命科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域帶來了革命性的解決方案。
01 技術(shù)原理：從電致發(fā)光到激光驅(qū)動(dòng)
激光驅(qū)動(dòng)白光光源（Laser Driven Light Source），簡稱為 LDLS，是一款借助高能聚焦激光束驅(qū)動(dòng)氙燈離子體的超高亮寬光譜光源。此系列產(chǎn)品能夠在 170 納米至 2100 納米的光譜區(qū)間內(nèi)，展現(xiàn)出超高的發(fā)光亮度。
舉例來說，在 DUV+（170 - 300 納米）波段，其亮度是氙燈等傳統(tǒng)光源的 10 倍有余。并且，相較于傳統(tǒng)光源，該光源的發(fā)光壽命大幅提升，整整高出一個(gè)數(shù)量級，達(dá)到了超過 9000 小時(shí)。
ATG7500 系列光源的核心優(yōu)勢源于其獨(dú)&特的工作原理。傳統(tǒng)電致發(fā)光光源依賴電極放電激發(fā)氣體發(fā)光，而 LDLS 采用激光泵浦等離子體技術(shù)：通過 65W/30W 激光束聚焦激發(fā)氙氣介質(zhì)，形成直徑僅 100μm 量級的高能等離子體。當(dāng)電子在激光激發(fā)下躍遷至高能級再返回基態(tài)時(shí)，會(huì)釋放覆蓋 190-2500nm 的寬光譜光子。
這種無電極驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)帶來了三大突破：
亮度提升 10 倍以上：在深紫外波段（170-300nm），ATG7500 的光譜輻射亮度可達(dá) 185mW/(mm2?sr?nm)，遠(yuǎn)超氙燈等傳統(tǒng)光源
壽命延長至 10000 小時(shí)：避免了電極損耗，耗材成本降低 70% 以上
光譜穩(wěn)定性達(dá) 0.15% STD：等離子體質(zhì)心位置波動(dòng)小于 0.15μm，確保長期測量數(shù)據(jù)的可靠性
02 三大性能優(yōu)勢
超寬光譜覆蓋與平坦分布
ATG7500 系列實(shí)現(xiàn)了從紫外（190nm）到近紅外（2500nm）的全波段覆蓋，且光譜功率密度分布均勻。對比數(shù)據(jù)顯示，其深紫外波段強(qiáng)度是傳統(tǒng)氘燈的10倍以上，在半導(dǎo)體光刻膠檢測、紫外光譜成像等場景中，能提供更精準(zhǔn)的吸收與散射。
高亮度點(diǎn)光源與高效耦合
175μm×415μm的等離子體尺寸，使其成為理想的百微米級點(diǎn)光源。配合 0.4-0.6NA 的數(shù)值孔徑，可高效耦合至600μm光纖（耦合效率>0.53W）或光譜儀狹縫，特別適合微芯片、生物細(xì)胞等精密樣本的成像與分析。
長壽命與低維護(hù)成本
傳統(tǒng)氙燈壽命通常僅 1000-2000 小時(shí)，而ATG7500系列通過無電極設(shè)計(jì)，將光源壽命提升至10000 小時(shí)以上。這意味著校準(zhǔn)間隔延長5倍，顯著降低了科研與工業(yè)應(yīng)用中的維護(hù)成本。
03 應(yīng)用場景
生命科學(xué)和生物成像
光譜儀&單色儀光源
半導(dǎo)體檢測
紫外光譜成像
04 奧譜天成ATP7500系列
ATG7500豐富型號參數(shù)可供選擇：
